Опис
Приставка магнетронного розпилення призначена для використання у складі універсальних вакуумних постів та напилювальних установок ВУП-5, ВУП-5М, ВН-2000 та ВН-2000М для розпилення різних матеріалів. Дозволяє розпорошувати метали, напівпровідники та діелектрики.
Приставка для магнетронного розпилення має 3 магнетрони діаметром мішені 40 мм.
Комплектність:
Корпус магнетронної приставки.
Магнетрон 3 шт.
Заслона 3 шт.
Утримувач зразків з лампами для нагрівання та терморезисторами для контролю температури 1 шт.
Поворотний механізм утримувача зразків 1 шт.
Переваги магнетронного методу нанесення покриттів:
1) висока швидкість осадження;
2) практично повна відсутність перегріву поверхні деталі, при цьому електрони захоплюються магнітним полем та не викликають утворення радіаційних ефектів;
3) висока рівномірність покриттів;
4) низький рівень забруднення плівок, оскільки процес нанесення покриття відбувається при досить високому вакуумі.
В наявності в повному комплекті вакуумна камера ВУП-5М.
Також можемо за запитом провести збирання та модернізацію вакуумного посту ВУП-5М під необхідні завдання.
Є широкий асортимент вакуумної арматури та вакуу
Переваги магнетронного методу нанесення покриттів:
1) висока швидкість осадження;
2) практично повна відсутність перегріву поверхні деталі, при цьому електрони захоплюються магнітним полем та не викликають утворення радіаційних ефектів;
3) висока рівномірність покриттів;
4) низький рівень забруднення плівок, оскільки процес нанесення покриття відбувається при досить високому вакуумі.
В наявності в повному комплекті вакуумна камера ВУП-5М.
Також можемо за запитом провести збирання та модернізацію вакуумного посту ВУП-5М під необхідні завдання.
Є широкий асортимент вакуумної арматури та вакуумних насосів.
мних насосів.
